その他の情報
- ■PDS-105R
吐出量:5.0mL/shot
最高吐出速度:0.1–4.0mL/sec
吸込速度:0.1–3.0mL/sec
最高吐出圧力:0.15MPa
繰返し精度:±0.3%以下(F.S.)
最高取扱い液粘度:200mPa·s
■PDS-H115
吐出量:12.0mL/shot
吐出速度:0.5–2.0mL/sec
吸込速度:0.3–2.0mL/sec
最高吐出圧力:1.0MPa
繰返し精度:±0.5%以下(F.S.)
取扱い液粘度範囲:100–10,000mPa·s
製品カタログ・資料
- フォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.29MBPSDシリーズは、レジスト液の無駄、塗布量のバラつき、コンタミ・気泡の滞留などの従来のフォトレジストコートプロセスにおける問題点をすべて解決。 省レジスト効果による大幅なコストダウンと、生産の効率アップを実現。
関連製品カタログ・資料
会社情報
弊社は豊富な品揃えで、あらゆるご要求仕様にお答えするケミカルポンプの総合メーカーです。長年の経験と実績に基づいた確かな技術力で、半導体、医療、表面処理、水処理施設などをはじめとした様々な分野のニーズにお応えします。液体の移送・制御に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
株式会社イワキ
〒 101-8558 千代田区神田須田町2-6-6 ニッセイ神田須田町ビル
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