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高粘度液ディスペンスポンプ PDSシリーズ

株式会社イワキ

最終更新日:2024/05/10

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  • 高粘度液ディスペンスポンプ PDSシリーズ
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LEDやMEMSデバイス製造に欠かせない高粘度液移送に好適
【PDSシリーズ】は、レジスト液のむだ、塗布量のばらつき、コンタミ、気泡の滞留などの従来のフォトレジストコートプロセスにおける問題点をすべて解決するフォトレジストディスペンスポンプ 。省レジスト効果による大幅なコストダウンと、生産の効率向上を実現。

その他の情報

    ■PDS-105R
    吐出量:5.0mL/shot
    最高吐出速度:0.1–4.0mL/sec
    吸込速度:0.1–3.0mL/sec
    最高吐出圧力:0.15MPa
    繰返し精度:±0.3%以下(F.S.)
    最高取扱い液粘度:200mPa·s

    ■PDS-H115
    吐出量:12.0mL/shot
    吐出速度:0.5–2.0mL/sec
    吸込速度:0.3–2.0mL/sec
    最高吐出圧力:1.0MPa
    繰返し精度:±0.5%以下(F.S.)
    取扱い液粘度範囲:100–10,000mPa·s

製品カタログ・資料

フォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ
フォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.29MBPSDシリーズは、レジスト液の無駄、塗布量のバラつき、コンタミ・気泡の滞留などの従来のフォトレジストコートプロセスにおける問題点をすべて解決。 省レジスト効果による大幅なコストダウンと、生産の効率アップを実現。

会社情報

株式会社イワキ

弊社は豊富な品揃えで、あらゆるご要求仕様にお答えするケミカルポンプの総合メーカーです。長年の経験と実績に基づいた確かな技術力で、半導体、医療、表面処理、水処理施設などをはじめとした様々な分野のニーズにお応えします。液体の移送・制御に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。

株式会社イワキ
〒 101-8558  千代田区神田須田町2-6-6 ニッセイ神田須田町ビル

https://www.iwakipumps.jp
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企業基本情報

社名:
株式会社イワキ
住所:
〒 101-8558
千代田区神田須田町2-6-6 ニッセイ神田須田町ビル
Web:
https://www.iwakipumps.jp

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