電子ビーム3次元計測装置 SDM-7501

【SDM-7501】は、新JIS 2001版に準拠し、断面曲線、粗さ曲線、うねり曲線に対して各パラメータを表示する電子ビーム3次元計測装置。反射電子検出器により高精度計測が可能。走査信号を直接制御するため画像の取り込みが高速かつ精密に行える。分解能：Z方向1nm、測定範囲：1mm〜3μm、走査時間：10秒（50Hz、512×512）。