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対物レンズ用ファインアクチュエータ SFS-OBL-1

シグマ光機(株)

最終更新日:2015/03/03

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  • 対物レンズ用ファインアクチュエータ SFS-OBL-1
小型で高速・高分解能位置決めが可能
【SFS-OBL-1】は、アクチュエータにピエゾ素子、フィードバック用にデジタルセンサを搭載した対物レンズ用ファインアクチュエータ。小型で高速・高分解能位置決めが行え、分解能は1nm以下、移動量100μmを実現。各種顕微鏡への組込みを始め、ディスク検査装置、自動フォーカシングシステム、半導体検査装置などの用途に最適。
    　　　　　　　　

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