電動リニアスライドアクチュエータ SLAシリーズ
最終更新日:2016/08/11
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コンパクト高速ダイレクトドライブリニアモータ
【SLAシリーズ】は、半導体、電子部品、バイオなどの分野で必要とされる高精細のスキャニング用途にデザイン開発された電動リニアスライドアクチュエータ。可動部が非常に軽いため、高速／高加速度での動作が可能。また、ダイレクトドライブのためバックラッシュがない。高剛性でかつ低摩擦のクロスローラガイドを内蔵。電動コイルは磁場を形成するクロスローラガイドの中心に配置されているため、非常に安定した動きを実現する。最小分解能：50nmからシリーズ展開している。
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製品カタログ・資料
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.55MBコンパクト高速ダイレクトドライブリニアモータ 推力、速度、位置を自在に制御可能 １億サイクル以上の寿命、省電力、高静音 クロスローラガイドによる高い精度と剛性
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