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電動リニアスライドアクチュエータ SLAシリーズ

SMAC JAPAN

最終更新日:2016/08/11

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  • 電動リニアスライドアクチュエータ SLAシリーズ
コンパクト高速ダイレクトドライブリニアモータ
【SLAシリーズ】は、半導体、電子部品、バイオなどの分野で必要とされる高精細のスキャニング用途にデザイン開発された電動リニアスライドアクチュエータ。可動部が非常に軽いため、高速／高加速度での動作が可能。また、ダイレクトドライブのためバックラッシュがない。高剛性でかつ低摩擦のクロスローラガイドを内蔵。電動コイルは磁場を形成するクロスローラガイドの中心に配置されているため、非常に安定した動きを実現する。最小分解能：50nmからシリーズ展開している。
    　　　　　　　　
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0364085358