液体流量センサ SLQ-QT500

【SLQ-QT500】は、水系および炭化水素系において3〜120ml／minの広範囲にわたって液体流量の測定が可能なセンサ。測定原理には同社の実績ある熱式マイクロセンサ技術を用いており、媒体に対して非接触でありながら高感度かつ応答速度が速い測定を可能にしている。また可動部分のない構造で、繰り返し測定精度が高いことから、長期的に信頼性の高い測定が行える。これらの特長により、生産装置で要求される気泡検出も精度よく実施可能。接液部はPFAと石英ガラス管のみで構成され、パーティクル対応も実施し、高粘度の液体測定にも対応し、半導体生産装置に使用可能なことはもちろんのこと、ほかの一般産業機器向けにも優れた性能を発揮する。通信手段は長距離バス通信を可能とするRS485方式。流体の瞬時流量と同時に自動検出による積算量の出力も可能。卓越した感度と測定速度により投薬モニタ、制御アプリケーションに最適である。