超小型微差圧センサ SDP3x
最終更新日:2016/04/15
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独自の特殊なMEMS技術「CMOSens」を採用
【SDP3x】は、独自の特殊なMEMS技術「CMOSens」を採用することで優れた精度、再現性、長期安定性を実現した超小型微差圧センサ。測定範囲：±500Pa。バイパスの微差圧やガス流量の測定が可能。サイズ：5×5×8mm。CMOSチップ上にセンサ素子とデジタル信号処理回路の統合をしているため、ウェハ間ボンディングが不要で、高い信頼性を保持。またオフセットやドリフトがなく、ノイズも最小レベルまでの低減を実現。在宅や外出先での小型医療機器、優れた精度が要求されるフィルター監視や冷暖房機器に最適。
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