傾斜温度加熱装置 SI-800
最終更新日:2014/02/01
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常用500℃で約300℃の温度傾斜を提供
【SI-800】は、安定したSiCヒータを採用し、加熱試料に温度傾斜を与えることができる加熱装置。常用500℃で約300℃の温度傾斜が得られ(昇温範囲 MAX800℃)、本装置を用いることで、結晶化温度の研究評価などを効率的に行うことができる。また、基板ホルダーを交換することで均熱加熱も可能。
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