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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206

有限会社フリーダム

最終更新日:2014/02/01

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  • 減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
【VU-206】は、ピエゾバルブを採用した減圧・常圧プロセス用気化器。液体マスフローメータとの組合せにより各種液体(TEOS、TEB、TEPOなど)を精密流量制御し、効率よく気化供給する。コンパクトなボディサイズながら、常圧プロセスから減圧プロセスまで対応、最高160℃の加熱が可能。RoHS対応。
    　　　　　　　　

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