金属イオン除去フィルタ MIPシリーズ

【MIPシリーズ】は、独自の特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂とポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルタカートリッジ。薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減し、リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減する。イオン交換樹脂と比較して金属溶出が少なく、前処理時間の短縮や作業の簡易化を実現。またメンブレンタイプのイオン交換膜フィルタと比べて、数倍のイオン交換容量を持つ安定した金属除去性能を発揮。半導体業界における金属低減に関するWebセミナーをオンデマンドにて公開中。