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MEMS 3D モーション・センサ・デバイス試験システム

(株)アムテックス

最終更新日:2014/05/23

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高精度な試験を提供

本システムは、フィンランド：エイフォア社製のMEMS 3Dモーション・センサー・デバイス製品の試験システムである。MEMSデバイスのハンドラは、繰返し精度が＜0.05°、位置精度の誤差＜0.1°、X-Y-Z方向精度±5μmである。また、MEMSセンサの温度試験装置、G-加速度試験装置、二軸ハンドラ装置も販売している。MEMSセンサのウエハー・レベル・パック・テープ試験システム製品も販売しており、完成度100％、不良率0％で試験が行える。

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