MEMS 3D モーション・センサ・デバイス試験システム
最終更新日:2014/05/23
このページを印刷高精度な試験を提供
本システムは、フィンランド:エイフォア社製のMEMS 3Dモーション・センサー・デバイス製品の試験システムである。MEMSデバイスのハンドラは、繰返し精度が<0.05°、位置精度の誤差 <0.1°、X-Y-Z方向精度±5μmである。また、MEMSセンサの温度試験装置、G-加速度試験装置、二軸ハンドラ装置も販売している。MEMSセンサのウエハー・レベル・パック・テープ試験システム製品も販売しており、完成度100%、不良率0%で試験が行える。
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