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MEMS ハンドラ―・圧力／温度試験機

(株)アムテックス

最終更新日:2014/05/23

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MEMS モーション・センサ・デバイスの試験システム

本製品は、フィンランド／エィフォア社製のハンドラ―・圧力／温度試験機。主な用途は、ToTA(Test on TApe)、MEMS ウエハーレベル・パック、テープテストシステムなど。主な仕様は以下のとおり。
(1)KRONOS ハンドラ：繰返位置精度は＜0.05°
(2)位置精度誤差：＜0.1°、X-Y-Z精度：±5μm
(3)AIOLOS MEMS モーション・センサ圧力試験＆ハンドラ
(4)APOLLON MEMS センサの温度、G-加速度試験
(5)ATHENA MEMS 2軸ハンドラ

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