フッ素樹脂製ウエハー洗浄キャリア WJ-H
最終更新日:2017/05/24
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幅広い溶剤に使えるオールフッ素樹脂製
【WJ-H】は、φ3～φ8インチの各種サイズに適用する横型ウエハー洗浄治具。4ヶ所を支えることでウエハーを確実に固定し、安定した洗浄作業が行える。すべてフッ素樹脂(PTFE)製のため、酸・アルカリ問わず幅広い溶剤に使用できる。ワークサイズや数量の変更、洗浄容器の大きさに合わせた特注仕様にも対応。
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