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高精度・多軸光ファイバーアライメントシステム F-712型

ピーアイ・ジャパン(株)

最終更新日:2021/01/21

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  • 高精度・多軸光ファイバーアライメントシステム F-712型
光ファイバーアライメント用のスキャンルーチンを搭載
【F-712型】は、6軸ステージ(6本脚が1枚の駆動面を支えることにより高剛性、かつ非常に滑らかな駆動が可能なステージ)と高精度ピエゾナノ位置決めステージを統合した9軸駆動高剛性システム。高性能フィードバック位置センサにより装備し、高再現性を実現。コントローラは高解像度アナログ入力を介し、光強度信号を直接受信。カメラを使った複雑なセットアップは不要。またピボットポイントの任意設定も行える。ファイバーの先端、ビームウエスト、SiPウェーハの表面などへ任意に設定可能。

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