RFマニュアルプローブステーション

本製品は、DCからRFまで測定可能なRFマニュアルプローブステーション。平坦度の高い大きなプラテン(一枚板平研磨品)を装備しており、4〜6インチウェハに対応。薄型ウェハも搭載可能なバキューム吸着仕様のチャック構造のため、ウェハを傷めることが無い。さらにポジショナーやプローブなどの多彩なオプションパーツを用意している。ステージ移動量は、祖動：(XY)160×160mm／(θ)45度、微動：(XY)23×23mm／(Z)10mm／(θ)10度、セーフローディングステージ：Y＝150mm(オプション)。本体サイズ・重量：W600×D600×H320mm(顕微鏡・台含まず)・60kgf。