加速度センサ Model 52M30
最終更新日:2016/11/07
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シリコンMEMSテクノロジーで高いgの測定範囲に対応
【Model 52M30】は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMSセンサ素子を基盤としている。−40〜＋121℃の温度領域を持ったフルブリッジ出力構造の特長を持ち合わせ、微量のガスダンピングが突出した衝撃生存性と、最大7kHzまでのフラットな振幅／位相応答を提供する。
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- 加速度センサ Model 52M30
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.09MB【Model 52M30】は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMSセンサ素子を基盤としている。−40〜＋121℃の温度領域を持ったフルブリッジ出力構造の特長を持ち合わせ、微量のガスダンピングが突出した衝撃生存性と、最大7kHzまでのフラットな振幅／位相応答を提供する。
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