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枚葉タイプクリーン熱処理装置

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 枚葉タイプクリーン熱処理装置
成膜後ウェハのアニーリング処理や合金化処理などに最適
本装置は、真空・N2・H2各種雰囲気中で、クリーンな熱処理を可能にした装置。また、カセットtoカセットの自動枚葉処理対応装置となっており、成膜後ウェハのアニーリング処理や合金化処理などに最適。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
神港精機(株)
住所：
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/