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ウエハ対応高精度微細塗布装置

ESER Corporation - Japan

最終更新日:2015/12/16

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高粘度材料の微細塗布、画像認識付き

本製品は、セラミック製スクリューディスペンサーを搭載した高精度微細塗布装置。ノズル径はMIN25ミクロンより画像認識による位置補正によりプリアライメントで固定されたウエハに対して精密に塗布を行う。試作・実験用の卓上タイプからマガジンからの投入ロボット付の量産タイプまで製作可能。

流体機器│ディスペンサ│

　　　　　　　　

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