軟X線照射式イオナイザー SXNシリーズ
最終更新日:2014/02/01
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パーティクルの発生がなく、高レベルのクリーン環境で使用可能
【SXNシリーズ】は、軟X線による空気電離作用を利用した除電装置。固定タイプ、フレキシブルアームタイプをラインアップ。ヘッドユニットの交換時期を通知し、リアルモニタリングシステムにも対応。
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