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〒 567-0034
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真空用特殊アルミヒータ

(株)オーナルテック

最終更新日:2016/09/29

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  • 真空用特殊アルミヒータ
エッチングなどの成膜用に最適
【真空用特殊アルミヒータ】は、特殊鋳造法に基づくアルミ鋳込みヒータ。ひけ巣、気泡、巣がなく、10-5pa使用可能で、ヒータパイプからのリークがない。400℃でも変形せず、均熱精度400℃±2℃に対応、平行度、平面度が安定している。エッチング、アッシング、CVDなどの成膜用に最適。φ8/12インチの2種用意。

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