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Si・サファイヤ基板加熱ヒータ

(株)オーナルテック

最終更新日:2015/11/09

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  • Si・サファイヤ基板加熱ヒータ
800〜1200℃の加熱に最適
【Si・サファイヤ基板加熱ヒータ】は、暖まりにくいSiやサファイヤ基板をMax1200℃に加熱することができる超高温・高精度のヒータ。熱衝撃に強く堅牢で、ダストがないので超高真空での使用が可能。使用温度はMax1500℃。均熱性に優れ、スピーディな昇降温で、ラピッドサーマルアニールにも使用可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(株)オーナルテック
住所：
〒 567-0034
茨木市中穂積３丁目１４番４１号
Web：
http://www.ohnaru.com/