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デジタル圧力計 ZT61

長野計器(株)

最終更新日:2017/05/16

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  • デジタル圧力計 ZT61
半導体ガス供給系の1.125集積化対応
【ZT61】は、半導体ガス供給系の1.125集積化システムに対応したデジタル圧力計。視認性に優れたLEDデジタル表示を一体装備したうえ、表示専用電源が不要な2線式伝送方式を実現。金属ダイヤフラム上にPCVDプロセスにより歪ゲージを形成しているため、優れた耐久性を発揮。センサ素子の材質には高耐食性のCo-Ni合金を採用。
    　　　　　　　　

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