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(株)アルバック
住所：
〒 253-8543
茅ヶ崎市萩園2500
Web：
http://www.ulvac.co.jp/

セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ

(株)アルバック

最終更新日:2014/02/01

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  • セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ
温度補償回路内蔵タイプ
【CCMT-Dシリーズ】は、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータ。センサ部はセラミックによる一体構造のため、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく、精度良く測定できる。主な特長は、
(1)長期間にわたる安定性
(2)セラミック膜の採用による優れた耐腐食性
(3)汚れからセンサを保護する構造を新規採用
(4)プッシュボタンによる0点調整が可能
    　　　　　　　　

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