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円弧型リニアモータ τ(タウ)サーボコンパス R850／R1500・R200タイプ

CKD日機電装(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 円弧型リニアモータ τ(タウ)サーボコンパス R850／R1500・R200タイプ
限定角のアライメント動作に最適、装置のコストダウンを実現
本製品は、回転型や直動型ではなく円弧動作型のリニアサーボモータ。半導体や液晶基盤のアライメント動作や高精度位置決め用として使用できる。また、駆動させたい部分のみのマグネットベースを設置することで、ピンポイントドライブが可能。1回転動作可能タイプもラインアップ。中空構造が必要な用途にも最適。SSCNET?、MECHATROLINK-?で使用でき、多彩なネットワークシステムに対応している。CC-Link、DeviceNetも選択可能。用途は、大型液晶基板アライメント装置、ウエハ検査装置、液晶基板アライメント装置など。
    　　　　　　　　

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