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リニアモータ τ(タウ)リニア NLDシリーズ
最終更新日:2014/02/01
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高効率なマグネット配列により、ストロークが長くなるほどコストパフォーマンスがアップ
本シリーズは、スケールレスリニアセンサ対応も可能な経済型スタンダードタイプのリニアモータ。耐環境性、設置のしやすさ、コストパフォーマンスに優れている。大推力タイプ(最大推力3000N・m)もラインナップ。用途は、、ICハンドラ、拡散炉、ウエハ搬送、ピック＆プレース、高精度計測装置、ワイヤボンダ、電子線描画装置、レーザ加工機、半導体製造装置など。
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