アンプ内蔵型6軸触覚センサ

本製品は、MEMS技術により、業界最小・最薄レベルのサイズで高感度の力覚計測が可能なアンプ内蔵型6軸触覚センサ。セラミックパッケージにアンプ、A／D変換、MCUを内蔵した指先サイズのワンチップモデル。MEMSチップ上に微細なピエゾ抵抗を配置することで、6軸方向の同時力覚計測を実現。優れた量産性と高い実装の利便性を持ち、外装には低圧縮永久歪で耐熱性、耐薬品性に優れたシリコンを採用。チップ背面に信号ピンが配置されており、FPCなどに直接はんだ付けが可能で、ノイズに強いデジタル信号を出力。ロボットハンド、触覚フィードバック、入力デバイスなど、ヒューマンインターフェースの用途に最適。