光学干渉式リアルタイム膜厚モニター

【光学干渉式リアルタイム膜厚モニター】は、さまざまな薄膜の厚みを非接触で測定することが可能なシステム。分光器「AvaSpec-2048／3648」＋専用ソフトウェア「AvaSoft-Thinfilm」＋光源「AvaLight-DHc」＋ファイバーで構成され、測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを観測し、薄膜材料の物性値を用いることにより膜厚を算出する。膜厚の測定範囲は10nm〜50μm、分解能は1nm。ソフトウェア「AvaSoft-Thinfilm」は、一般的によく使用されるマテリアルやコーティング材料（レジスト、酸化物、ポリイミド、セルギャップなど）の物性値、n値とk値がデータベース化されている。主な仕様は、分光器「AvaSpec-2048／3648」：Grating UA（200〜1100nm）、100μm slit、DUV coating、OSC-UA、光源「AvaLight-DHc」：重水素-ハロゲンライト、ファイバー：FCR-7UV200-ME(反射プローブ)、UV／VIS、2m、SMA、など。