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ヘリウムリークディテクタ M-222LD

キヤノンアネルバ(株)

最終更新日:2016/06/30

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  • ヘリウムリークディテクタ M-222LD
大型真空容器のリークテストが可能
【M-222LD】は、212のあら引きポンプをパワーアップした、ハイパワータイプのヘリウムリークディテクタ。装置搭載のポンプの助けを借りずに、本体のみで大型真空容器のリークテストが行える。高感度タイプのH型と、排気系をドライポンプ化することで真空装置をオイル汚染から防ぐD型を用意。各種真空装置の保守保全に最適。

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