MEMS圧力センサ高速温特検査装置 PST-4125-M1
最終更新日:2014/02/01
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冷熱プレート内蔵加減圧方式を採用
【PST-4125-M1】は、冷熱プレート内蔵加減圧方式で高速温特計測を実現した検査装置。加減圧容器内に冷熱プレートを組込むことで、MEMS圧力センサの温度特性計測時間を大幅短縮でき、バンププローブ採用で小さな実装面積、装置のコンパクト化が可能。入力電源AC200V 3φ10A、AC100V 7A、圧力エア0.7MPa 80L／sec。
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