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ウエハ対応高精度微細塗布装置
開閉方式：サックバック方式
最大吐出量：28L／mi
n適用粘度：1〜200,000cps
最大動作回数：150times／mi
n適用液材：2液型エポキシ、シリコーン、ウレタン、エポキシ