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ウエハ対応高精度微細塗布装置
開閉方式:ニードルオフ方式
最大吐出量:0.8L/mi
n適用粘度:1〜10、000cps
最大動作回数:400times/mi
n適用液材:2液型エポキシ、シリコーン、ウレタン、ハードロック、2液型アクリル樹脂など