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非接触式(コロナ放電法)超高抵抗レンジシート抵抗測定システム CRN-100

ナプソン(株)

最終更新日:2015/05/19

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10 9～10 15Ω／sqの測定が可能

【CRN-100】は、山形大学と同社が共同開発したコロナ放電法を用いた非接触式によって、10 9～10 15Ω／sq／sqの超高抵抗レンジを測定できるシート抵抗測定システム。非接触式は、サンプルの表面状態の影響を受けにくい、サンプルの表面にダメージを与えない、接触抵抗の影響を受けないといったメリットがある。測定部は、コロナチャージャーと表面電位検出器で構成されており、測定部からサンプルまでのギャップ：2mmで非接触測定を実施。超高抵抗薄膜サンプル、絶縁に近い半導体材料、導電性ゴムなどの測定が可能。

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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.01MB【CRN-100】は、山形大学と同社が共同開発したコロナ放電法を用いた非接触式によって、10⁹～10^{15Ω／sqの超高抵抗レンジを測定できるシート抵抗測定システム。非接触式は、サンプルの表面状態の影響を受けにくい、サンプルの表面にダメージを与えない、接触抵抗の影響を受けないといったメリットがある。測定部は、コロナチャージャーと表面電位検出器で構成されており、測定部からサンプルまでのギャップ：2mmで非接触測定を実施。超高抵抗薄膜サンプル、絶縁に近い半導体材料、導電性ゴムなどの測定が可能。}

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