4Eマイクロ波自動整合器 AMC-0801
最終更新日:2024/11/13
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2450MHzマイクロ波用の導波管自動整合器
【AMC-0801】は、高速・高感度に伝送線路と負荷のインピーダンス整合を自動で行う2450MHzマイクロ波用の導波管自動整合器。負荷状態をリアルタイムモニタして追従するため、負荷変動を伴うプラズマ負荷などの自動整合に最適。独自の整合システムにより、従来の3スタブやEHチューナ方式では不可能な負荷変動に対して、シームレスな追従を実現。自然空冷のため冷却水などの引き回しが不要。負荷整合範囲：VSWR10(全位相)、整合精度：反射波電力が定格電力の1％以下。
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