形 C1Aは、48✕48mmマスクサイズの小型でありながら、センサー入力信号に対し±0.1%RD(熱電対、測温抵抗体)の高精度と、サンプリング周期:25msの高速応答制御を実現しました。
制御プロセスの安定性、再現性の向上に寄与するとともに、圧力制御、流量制御のような高速応答の制御対象に対してもPIDパラメータの調整値をより容易に追い込むことができます。