【カタログプレビュー】お客様事例 CW固体ステーションで干渉リソグラフィを改良

本資料は、シュトゥットガルト大学における事例を紹介する技術資料。ArやKrのガスレーザのサイズ、複雑さ、熱を伴わないコヒーレンス長、光線の質、短い放射波長という基準を満たす光源となるCW固体レーザソリューションを採用。 コンパクトなプラグアンドプレイデバイスで、メンテナンスフリーにて動作し、ヒートシンク以外の冷却装置を必要としない。1に近いMをもつこのレーザの高品質な光線は、狭いスペクトルバンド幅と長期的な出力安定性とが結びつくことで、LILに精度と再現性を確保。このレーザは、360nmの放射波長で25nmまでの周期を実現できる。
発行元:コヒレント・ジャパン株式会社