【カタログプレビュー】お客様事例 AP SYSTEMS、DPSSレーザで有機ELディスプレイ製造を大刷新

本資料は、装置制御ソフトウェアの知識と統合の専門技術を基盤とし、半導体装置市場において高い評価を確立したAP SYSTEMSにおける導入事例を紹介する技術資料。同社の事業範囲には、中型から小型のLCD(液晶ディスプレイ)装置、300mmウェハ用の半導体加工装置、大型LCDなどが含まれる。同社は、先進的なELA(エキシマレーザアニーリング)、LLO(レーザリフトオフ)、OLED(有機EL)カプセル化など、有機ELパネルの製造に必要なレーザ装置を提供するトップメーカーである。
発行元:コヒレント・ジャパン株式会社