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【カタログプレビュー】お客様事例 エキシマレーザで薄膜のパイロット規模から大量生産までのパルスレーザ成膜(PLD)を実現

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本資料は、パルスレーザ成膜(PLD)に特化した企業であるSolmates社の事例を紹介。PLDシステムのスループットを左右する高エネルギー(最大1ジュール／パルス)とスケーラブルな出力(80～300W)を兼ね備えた「Coherent LEAPエキシマレーザシリーズ」を採用。LEAPレーザは、厳しい製造環境において、24時間365日の工業的な信頼性と、ウェハあたりのコストを最小限に抑えることができるという確立された実績がある。
発行元：コヒレント・ジャパン株式会社
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企業基本情報

社名：
コヒレント・ジャパン株式会社
住所：
〒 151-0053
東京都 渋谷区代々木2-1-1 新宿マインズタワー26階
Web：
https://www.coherent.com/ja
TEL：
03-5365-7100

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