<技術資料 膜厚計の基礎知識・膜厚測定の原理>
本資料は、膜厚計の選定に役立つ技術資料。膜厚測定の原理を知り、測定物に合わせた正しい測定方式を選択することができる。電磁式膜厚計(電磁誘導式膜厚計)、渦電流式膜厚計(渦電流振幅感応式)、渦電流位相式膜厚計(渦電流位相変位感応式)、蛍光X線式膜厚計・素材分析(蛍光X線スペクトル分析法)、電気抵抗式膜厚計、磁気式膜厚計(ホール効果)を掲載。
<技術資料 膜厚計の基礎知識 膜厚測定で知っておくべきこと>
【膜厚計の基礎知識 膜厚測定で知っておくべきこと】は、電磁式・渦電流式の膜厚計で測定する際、正しく測定できるように、影響を及ぼす重要な要素をまとめた資料。
<非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が可能な蛍光X線方式膜厚測定器 XDV-SDD>
【XDV-SDD】は、電動ステージ付きで、非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が行える蛍光X線式測定器。シリコン・ドリフト・ディテクター(SDD)をX線検出器に採用、 プログラミング可能なXYステージを装備。大型でアクセス性のよい測定チャンバ(クローズドチャンバ―タイプ)を搭載。自社開発により進化を遂げたデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載し、従来のDPPに比べ最大50%性能向上し、測定時間の短縮に貢献。■極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体産業など)
■トレース分析(RoHS、玩具、包装材基準のための有害物質検査など)■NiPの組成分析と薄膜測定