スマートフォンなどに搭載されるオートフォーカス(AF)アクチュエータVCMの測定、評価等にご使用いただけます。
変位(Z)と同時にチルト(θX-θY)の測定が可能です。
信号処理部を筐体に内蔵しているため、設置の自由度が広く、簡単にセットすることができます。
測定スピードは1,000回/秒と高速です。

主な仕様
【SH-3100】
　　チルト(θX-θY)　　　　 : ±60分(円形範囲)
　　変位　(Z)　　　　　　 : ±1.5mm
　　ワーキングディスタンス 　: 50±0.5mm
　　外形寸法　　　　　　　 　: W100×D80×H35mm
　　出力更新レート 　　　　　: 1,000回/秒

【SH-3200】
　　チルト(θX-θY)　　　　　: ±90分(円形範囲)
　　変位　(Z)　　　　　　　 : ±5mm
　　ワーキングディスタンス : 50±0.5mm
　　外形寸法 　: W100×D80×H35mm
　　出力更新レート 　: 1,000回/秒