この装置は ・従来機器では測定できなかった、非合焦レンズ、群レンズ等の収差測定が直接可能です。 ・レンズ製造工程において、組立途中の半完成レンズや群レンズの測定が可能です。 　　→歩留まり改善、効率的な製造ライン運用に貢献します。 ・測定に高精度な参照球面やコンバージョンレンズ等は必要ありません。

ガラスや平行平板、半導体ウェーハの厚み測定、薄膜レジストやパターニングに用いられるフィルム、光感応性のフィルム、透明導電性フィルムやバリアフィルムなどの厚みを素早く正確に把握し製造プロセスに革新を起こします。 簡単操作でエラーなく厚み測定が可能。最新テクノロジーを駆使した当センサは従来の接触式のマイクロメーターなどとは一…

本製品は作動距離(WD)が10mという優れた性能を有したレーザーオートコリメータです。 光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト(ΘX、ΘY)の同時高速測定(1,600回/秒)が可能となっています。 特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して角度測定が可能な点です。この特性により、装…

本製品は信号処理部を筐体に内蔵した一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置の自由度が広がります。 例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。 従来の一体型チルトセンサと比較して今回開発した製品は小型化に成功、測定スピ…

スマートフォンなどに搭載されるオートフォーカス(AF)アクチュエータVCMの測定、評価等にご使用いただけます。 変位(Z)と同時にチルト(θX-θY)の測定が可能です。 信号処理部を筐体に内蔵しているため、設置の自由度が広く、簡単にセットすることができます。 測定スピードは1,000回/秒と高速です。 主な仕様 【SH-3100】 　　チルト(θX-θY)…

装置への組み込みやハンドラ搭載ニーズにも対応するために極限まで小型化した世界最小※1モデルです。 ※1　2020年10月現在　当社調べ 画像処理ユニットは60fpsの処理スピードで角度を測定、上位機器へのデータ出力が可能です。 超小型ですので、複数台の設置検討も容易になり、様々な測定テーマを解決しやすくなりました。 APC(オートパワー…