本製品は信号処理部を筐体に内蔵した一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置の自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサと比較して今回開発した製品は小型化に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。