薄膜の評価技術ハンドブック | カタログ・資料 | (株)テクノシステム

【カタログプレビュー】薄膜の評価技術ハンドブック

本書は、物質、形状、性質の異なるさまざまな薄膜をより適切に評価するためにはどのようなポイントに留意し、どのような方法を用いたらよいのかといった疑問に答える専門書。さまざまな薄膜とともに用いられてきた多種多様な評価法を基礎から最先端の評価技術まで含め1冊に凝縮。第?部では薄膜の形状、膜厚、構造、組成・結合状態といった基本事項の評価技術、第?部では電気、磁気、光学、化学など手法別にまとめた薄膜の物性評価や熱物性評価、第?部ではLSI、半導体パワーデバイス(欠陥評価とデバイス特性)、LED照明、薄膜太陽電池、薄型ディスプレイ、薄膜磁気メモリ、有機薄膜デバイス、バイオセンサなど薄膜の応用現場における評価事例を詳しく解説。また、有機薄膜についても各部で別に項を設けて詳述。

・監修：金原粲
・発刊：2013年1月19日
・体裁：B5判二段組上製本約620頁

発行元：(株)テクノシステム

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体裁：B5判二段組上製本 600ページ
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・発刊：2013年11月16日
・体裁：B5判二段組上製本 792頁
・定価：50,400円(本体価格48,000円＋税)
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