【TWPシリーズ】は、1チャンバー完結方式の完全枚葉処理により、クロスコンタミを防止しフレキシブルに対応する、有機処理をメインとしたマルチチャンバー仕様の量産向けレジストハクリ、リフトオフ装置。薬液には循環回収・濾過・温調システムを使用しランニングコストを低減するとともに、チャンバーカップカバーのシャワーリングシステム、独自のメタル飛散防止機構(オプション)を設けることで、リフトオフ工程における高いメタル回収率を実現。