【カタログプレビュー】光ファイバー放射温度計 IS50-Si-LO+

【IS50-Si-LO+】は、0.9μmの検出波長で、シリコンウェハーの温度測定を高精度で行う光ファイバー放射温度計。最高値保持回路の内蔵と、最速1msecの高速応答により温度変化の激しい試料や高速で移動する試料の温度測定が可能。レンズは2タイプで計8種類を用意しており、測定範囲は88〜4500mmをカバー。可動焦点レンズ(TypeII)を採用しているので、任意の位置でスポット径を最適に絞ることができる。また、小スポット測定に対応しているため(0.45φ/88mmから)、小さい試料(サンプル)でも測定可能。そのほか、本体にレーザパイロットボタンおよび温度表示器を内蔵しており、パラメータも設定可能、現場での調整がより容易となった。
発行元:山里産業株式会社