【カタログプレビュー】コントロールアングルバルブ Series62.0

本製品は、高温環境下における半導体製造装置で安定した圧力制御を行うアングルバルブ。最高動作温度は200℃。熱交換器方式の導入により、真空露出されたベローズを均一に加熱し、デポ付着を防止する。
発行元:VAT(株)
真空ゲートバルブ Series 12
2分割ボディでメンテナンスが容易、低コストにて提供
【Series 12】は、独自の内部機構「VATLOCKシステム」により、機械的なロックで逆圧状況においても確実にシールします。、研究開発および産業用の低真空アプリケーション用バルブ。主にポンプに取り付けて使用します、エアダンピングにより振動が少なく、ポンプへの負担がありません。2分割ボディで取り外しが容易なため、メンテナンスがしやすい。手動式と圧空作動式をラインアップ。ボディ素材にはアルミニウムを採用しています。硬質アルマイト加工などの表面処理やユーザー指定のフランジ、標準以外のシール材の使用など、カスタマイズにも対応しています。