台湾2018年11月5日-MPI CorporationはフルオートオプションWaferWallet™搭載可能300mmプローバー「TS3500」を発表しました。

この10年間で半導体産業ではモデリングや新技術開発のプロセスでのデバイス特性評価をオンウェハーで正確に測定する要求がますます高まっています。これまでの300mmオンウェハー測定では測定精度もしくは測定オートメーション機能のどちらかに妥協せざるを得ませんでした。TS3500プローバーはWaferWallet™を搭載することにより測定精度、オートメーション機能両方を持ち合わせることが可能になり、業界で最も進んだフルオート・プローバーとなりお客様の総テストコスト削減に貢献します。またWaferWallet™の操作はシンプルで、各種ウェハーサイズ/ウェハー種からご選択いただけます。
モデリングや新技術開発プロセスにおけるデバイス特性評価の一般的な方法は、少数のウェハーから、非常に正確なIV-CV、1/f、RF、mmW、およびロードプル測定を介してデータを抽出することです。WaferWallet™は測定性能を損なうことなくTS3500シリーズをオートメーション化します。またWaferWallet™は150、200、または300mmの"モデリング"ウェハーを手動で搭載できます。人間工学的なローディングが可能な5つの個別トレイで設計され、異なる温度で同一規格のウェハーを5枚まで全自動テスト可能です。

TS3500およびTS3500-SEはすでに多くのお客様にご使用いただき実績のあるTS3000、TS3000-SEプローバーと同等の仕様で、WaferWallet™の搭載でフルオート化を可能としました。MPI AST事業部ゼネラルマネジャーのStojan Kanevは「MPIのソリューションは他社のセミオート・プローバーより安価な価格にてフルオート・プローバーを提供し、お客様の総テストコストの削減に貢献することにあります」と述べています。
MPIはお客様の要求を短時間で有用なソリューションに具現化すること重きをおいており、WaferWallet™のコンセプトはMPIの使命の具現化の一例です。