TG103CSはコンビネーション型で、白金、イリジウム製のピラニゲージとBA型
電離真空計タフゲージを同じ測定子内に内蔵。測定子とコントローラケーブル
で接続するセパレートタイプ。タフゲージは各電極を高温に加熱しながら測定す
る特許技術タフモードを備え、真空装置内の汚染分子として問題になるシロキ
サン等、有機性汚染雰囲気中でも感度低下を起こさず、長期間、高精度の測定が
可能。

複合型真空計TG103CSの特長
1.測定範囲は、1x10^-7から10＋5Pa
2.ケーブル長5、15、30、50mを用意
3.ピラニ真空計からBA型真空計タフゲージに自動切換
4.ピラニ真空計のゼロ点をBA稼動時に自動調整
5.ピラニ真空計に白金、イリジウム合金を採用し活性ガスに対する耐久性を改善
6.納品時にBAゲージ部の校正証明書を添付
7.Windowsアプリケーションでログ管理