株式会社テクノビジョン（埼玉県比企郡）は、企業のR＆D、公共研究機関、大学、小ロット生産用途に最適な卓上タイプ汎用洗浄装置「モデル ＴＷＣ-２００」を発売しました。

■フォトマスク、ウェハー、各種基板の洗浄

■“薬液洗浄” → “薬液リンス” → “洗剤洗浄/スクラブ機能付き” → “リンス/乾燥”の工程を自動運転します。

【用途と特長】
･ ドラフトチャンバー機能搭載。
･ ワークサイズMAX.200×200。又はφ200まで対応
･ 薬液加熱機能付き（オプション）
･ 薬液洗浄槽には超音波機能を付加できます（オプション）
･ 多彩な洗浄プロセスの設定。
･ 推奨薬液を用意、薬液開発の相談にも応じます。
･ 地球環境にマイルドな水溶性薬液を使用。
･ 熱硫酸、硫酸過水などの危険から解放。
･ ワークは自動搬送またはマニュアル操作。
･ 装置サイズ : 750（W）×600（D）×750（H） 　暫定寸法

【お問い合わせ先】
株式会社テクノビジョン
〒350-0165　埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL／049-299-1385　FAX／049-299-1386
E-Mail:technovision.info@techvision.co.jp