テクノビジョンでは、最大14インチのマスクサイズに対応する全自動マスク洗浄装置「TWC-300A」を近日発売致します。

すでに、最大7インチのマスクサイズに対応したモデル「TWC-200A」を開発・販売し、多数のユーザ様に提供しておりますが、他のお客様からも9インチ以上のマスクへの対応について、お問合せやご要望をいただいておりました。

この度、社内の準備体制が整いましたので、14インチまで対応可能な全自動マスク洗浄装置を提供することとなりました。

■特長
１：危険で有害な熱硫酸、硫酸過水や有機溶剤は一切使いません
２：薬液メーカーとタッグを組んで開発した地球環境にマイルドな水溶性アルカリ薬液を使用
３：新薬液は、今まであきらめられていたレジストの昇華物まで除去
４：ハード（装置）とソフト（洗浄ノウハウとレシピ）を提供
５：パターンの一部と認識される厄介なゴミはソフトスクラブ洗浄で完全除去