コンタミ監視・落下粒子パーティクルモニタ APMON
最終更新日:2017/08/05
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落下粒子による付着異物を常時監視
【APMON】は、気中の落下塵をリアルタイムに判定し、適切なソリューションに結びつけるコンタミ監視・落下粒子パーティクルモニタ。製品の製造局所に設置し、品質に影響を与える粗大粒子の常時モニタリングが可能。15µm以上の落下粒子を5分間隔で計測することで、発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できる。また、15～1000µmまでの粒径ごとの粒子数をリアルタイムに計数するだけではなく、一定時間の堆積数を算出。ISO 14644：2019に向けて議論されている落下粒子率PDR＝粒子数／m2／hourなどを表示できる。
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