気中パーティクルカウンタ ガス用 KS-93
最終更新日:2017/03/15
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イナート／腐食性／反応性ガスなどを直接測定
【KS-93】は、特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理できる気中パーティクルカウンタ。イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能。SUS配管(VCR)を採用。光学系：側方散乱方式、光源：半導体レーザ(波長830nm、定格出力200mW)、粒径区分：0.1μm以上／0.15μm以上／0.2μm以上／0.3μm以上／0.5μm以上の5段階、定格流量：100mL／min、最大粒子個数濃度：30,000個／mL(計数損失5％以内)、電源：AC100V～240V・40VA(付属外部電源「KZ-50」を含む)。
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